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株式会社北浜製作所

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  • 酸素分析計

微量酸素分析計 TF-21D201

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  • 環境
・超小型センサで%領域から0-10ppm領域まで測定可能です。
・測定レンジは0-10ppmから%までの4レンジを自由に選択可能です。
・レンジ切替はローカル/リモート及びオートレンジ切替付きです。
・NC/NO自由な上下限警報付きです。

カテゴリ
用途 半導体製造装置、拡散炉、RTP、各種N2炉内雰囲気測定、空気分離装置。

スペック

メーカ エナジーサポート株式会社
重量 センサ:約1.0kg
受信器:約1.0kg
寸法 DTF-201型受信器:96(W)×96(D)×170(H)
製品仕様 型式:TF-21D201(TF-21型センサ+DTF-201型受信器)
測定原理:ジルコニア濃淡電池方式
測定レンジ:0-10ppm~0-100%(任意の4レンジ選択可能)
直線性:0-100ppm以上は±2%F.S.、0-100ppm未満は±3%F.S.
再現性:±1%F.S.
応答時間:0-1%以上は10sec以下、0-10%未満は30sec以下(校正ガス切替時T90応答)
アナログ出力:DC4-20mA、0-1、0-5、0-10Vから選択
校正:4点+エア1点校正(標準ガスご準備願います)
取付:専用センサ取付金具にて配管取付
測定方法:直接取付、サンプリング(個別対応)
電源:AC100、200V、SC24V

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