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株式会社北浜製作所

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■「真の形状を捉える」表面性状測定の決定版
■非接触粗さの次世代パラメータ ISO25178、JIS B0681に準拠
■非接触で、ナノに迫る高分解能3D観察と高精度測定を実現
■前処理不要 簡単操作で、54X 〜17,280X観察が可能です。
■再表面検出フィルタにより透明膜の最表面形状測定に対応
■非接触粗さの次世代パラメータ ISO25178に準拠
■非接触で、ナノに迫る高分解能3D観察と高精度測定を実現
■前処理不要 簡単操作で、108X 〜17,280X観察が可能

カテゴリ
用途 ・拡大観察・3D撮影・寸法測定・画像解析

スペック

メーカ オリンパス株式会社
重量 本体部 約31kg(標準モデル)
コントロールボックス 約12kg
※PC、モニター含まず
寸法 276(W)x358(D)x406~506(H)
※PC、モニター含まず
製品仕様 倍率:54~17280倍(対物レンズによります)
検鏡方式:反射型共焦点レーザー/微分干渉画像
     カラー画像/カラー微分干渉画像
ステージストローク:XY 100mm、Z10mm(電動)Z100mm(手動)
繰り返し性(平面):100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.05μm
正確さ(平面):測定値の±1.5%以内
繰り返し性(高さ):100x:σn-1=0.012μm、50x :σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.03μm
正確さ(高さ):0.15+L/100μm(L=測定長μm)

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