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- デジタル表示、設定一体型のマスフローコントローラです。
●流量積算、スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能などの多機能を実現しております。
●0.5sec以内の高速制御が可能です。
●W70×H70mm×D30のコンパクトサイズで設備の小型化に貢献します。
●低差圧(5kPa～50kPa)にも対応しています。
MF-CS10Nモデル：ガス限定
＜Air / N2 / O2 / LNG / CH4 /C3H8＞
●AC100Vでご使用できる アダプタもご用意しております。
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | ワイヤーボンディング ガラス浮上搬送 充填包装 溶接用アルゴンガスの流量管理 |
スペック
| メーカ | 株式会社堀場エステック |
|---|---|
| 重量 | 約200g～560g |
| 寸法 | 70(W)×30(D)×70(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
| 製品仕様 | 樹脂ボディーモデル （ポリアミド樹脂） ■流量レンジ 500mL/min ～100L/min ■適用ガス：N2/Air ■流量精度：±3% F.S. ■電源：24 VDC ■アナログ入力：0-5V DC アナログ出力：1-5V DC ステンレスボディーモデル ■流量レンジ 500mL/min ～50L/min ■適用ガス：N2/Air/O2/H2/Ar/CH4/LNG/He ■流量精度：±3% F.S. ■電源：24 VDC ■アナログ入力：0-5V DC アナログ出力：1-5V DC |
