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- 高信頼性のサーマルセンサー、ソレノイドバルブを搭載。基本性能は上位モデル同等の性能を持つ、汎用型マスフローコントローラです。
●高精度、高速応答、高信頼性のベーシックモデル
●MK3タイプは校正ガスを限定することにより、コストパフォーマンスを追求したモデルです。
（校正ガス：N2/O2/Air/H2/He/Ar）
●大流量モデル（E431X/E441X）は、MAX 200SLMまで対応
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | 工業炉・熱処理用のバーナーガス制御 ロー付けバーナーガス制御 各種チャンバーの雰囲気ガス制御 |
スペック
| メーカ | 株式会社堀場エステック |
|---|---|
| 重量 | 約1.1kg |
| 寸法 | SEC-E40:76(W)×32(D)×126(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
| 製品仕様 | ■流量レンジ SEC-E40：10SCCM～10SLM SEC-E50：20SLM～30SLM SEC-E431X：50SLM～100SLM SEC-E441X：200SLM ■流量精度：±1% F.S. ■電源：±15VDC ■通信：0-5VDC 専用の制御ユニットPEシリーズをご用意しています。 |
