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株式会社北浜製作所

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マスフローコントローラ SEC-N100シリーズ

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●お客様のニーズにあった通信方式をラインアップしたアナログ/デジタル通信 兼用モデルです。
●マルチレンジ・マルチガス機能を搭載
お客様ご自身でマスフローコントローラ(MFC)の使用ガスや流量レンジを変更できます。
●デジタル補正機能搭載によるセットポイント精度実現
●メタル仕様は、腐食性ガスにも対応可能です。(N100MGM)

カテゴリ
用途 工業炉半導体太陽電池燃料電池LED液晶パネル触媒光ファイバー コーティング

スペック

メーカ 株式会社堀場エステック
重量 約1.2kg
寸法 SEC-N112:81.8(W)×30.5±0.5(D)×126±1(H)
詳細寸法については別途お問合せ
製品仕様 ■流量レンジ
 10SCCM~200SLM
■流量精度
±1.0%S.P.(設定流量>30%F.S)
±0.3%F.S.(設定流量≦30%F.S.)
■電源:±15V/24VDC
■通信:各通信モデルに対応
 アナログ: 0-5V
 デジタル:RS485(F-net)/デバイスネット/CC-Link/プロフィバス

製品資料

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