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- ハイエンドマスフローコントローラのベストセラーモデルです。
●マルチレンジ・マルチガス機能を搭載
お客様ご自身でマスフローコントローラ(MFC)の使用ガスや流量レンジを変更できます。
●デジタル補正機能搭載によるセットポイント精度実現
●メタルシール仕様標準
●接ガス部内面研磨処理標準
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | 工業炉半導体太陽電池燃料電池LED液晶パネル触媒光ファイバー コーティング |
スペック
| メーカ | 株式会社堀場エステック |
|---|---|
| 重量 | 約1.5kg |
| 寸法 | SEC-Z512MGX:63.8(W)×28.5±0.5(D)×126±1(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
| 製品仕様 | ■流量レンジ：10SCCM～500SLM ■精度：±1.0% S.P. ■電源：±15V ■通信：各通信モデルに対応 アナログ： 0-5V デジタル：RS485(F-net)/デバイスネット/Ether Net |
