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株式会社北浜製作所

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液体微少マスフローコントローラ LV-F

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液体の微少流量の制御が可能な液体用マスフローコントローラです。
●デジタル/アナログ通信モデル
●世界初の冷却測定方式を採用した流量センサ搭載
●高精度・高速応答を実現
●マイクロリッターからの微小流量制御が可能
●低沸点材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能
●ウルトラクリーン対応(MO)

カテゴリ
用途 工業炉 半導体 太陽電池 燃料電池 LED 液晶パネル 触媒 光ファイバー コーティング

スペック

メーカ 株式会社堀場エステック
重量 約700g
寸法 86(W)×30(D)×112(H)
詳細寸法については別途お問合せ
製品仕様 ■流量レンジ
0.02g/min~100g/min
■流量制御範囲:5~100% F.S.
■精度:±1%F.S.
■耐圧:1MPa

製品資料

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