キタハマ

株式会社北浜製作所

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  • 走査型プローブ顕微鏡

環境制御型ユニット AFM5300E

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真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型SPMです。電子デバイスなど電気物性評価に欠かせない吸着水影響などを排除した高真空中での評価を実現します。また、専用の雰囲気遮断ホルダによりSEM、IM、SPM間を大気に曝露することなく搬送できるので、2次電池等の評価に最適です。

カテゴリ
用途 半導体、マテリアルサイエンス、ライフサイエンス、新素材など

スペック

メーカ 株式会社日立ハイテク

製品資料はこちらからダウンロードいただけます。

重量

http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-afm5300e
（上記リンクの「仕様」をご参照ください。）

寸法

http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-afm5300e
（上記リンクの「仕様」をご参照ください。）

製品仕様

http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-afm5300e
（上記リンクの「仕様」をご参照ください。）

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