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研究
- XY200 µmの広域走査に加えて歪みを抑制したフラットスキャナにより直線性の高い計測を実現する中型SPMです。更にカンチレバーの装着・交換、光軸調整を自動化することで、オペレーターの負担を大幅に軽減しました。また、SEMとSPMで試料の同一場所を簡単に測定できるAFM&SEMリンケージシステムを搭載できます。
カテゴリ | |
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用途 | 半導体、マテリアルサイエンス、ライフサイエンス、新素材など |
スペック
メーカ | 株式会社日立ハイテク |
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製品資料はこちらからダウンロードいただけます。
重量
http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-afm5500m
(上記リンクの「仕様」をご参照ください。)
寸法
http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-afm5500m
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製品仕様
http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-afm5500m
(上記リンクの「仕様」をご参照ください。)