顕微分光膜厚計（OPTM series）

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顕微分光膜厚装置

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豊富な膜厚膜質解析の経験ノウハウで、OPTM seriesが提供できる膜厚解析。光干渉法、顕微分光方式の膜厚値、高速フォーカス機能で１点１秒の測定が可能です。

・測定径最小φ5μｍサイズでの顕微測光。狙った部位、パターン内の微小測定がおこなえます。
・高性能・高再現性を実現したレンズ・光学系を採用。高精度な絶対反射率測定から解析できる膜厚計です。
・３種類の測定波長範囲から選択できる検出器。極薄膜、色付き試料等の用途に最適な機種選択ができます。
・１ポイント１秒以内の高速膜厚測定を可能にしたオートフォーカス機能を標準装備しています。
・独自の光学系で裏面反射を除去。透明基板を高精度測定することが可能です。
・多層膜等の多様な膜種対応の解析法。しかも、測定・解析も楽々操作の対話形式でおこなえます。
・機種により異なりますが、1nm ～ 92μmの膜厚測定がおこなえます。
・対物レンズの選択によりφ5μm ～φ40μmのスポットで測定可能です。
・目的用途により、ストローク長２００ｘ２５０mmの自動XYステージタイプ、固定フレームタイプの選択が可能です。

カテゴリ	分析機器・装置分析装置顕微分光膜厚装置
用途	半導体機能性フィルム有機半導体有機薄膜

スペック

メーカ	大塚電子株式会社
重量	本体部：約55kg(自動X-Yステージタイプ) 、25kg(固定フレームタイプ) 制御ユニット部：14kg データ処理部：約2.5kg
寸法	本体部：555(W)x537(D)x568(H) mm [自動X-Yステージタイプ] 　　　　300(W)x450(D)x445(H) mm [固定フレームタイプ] 制御ユニット部：500(W)x177(D)x273(H) mm データ処理部：335(W)x230(D)x25(H) mm
製品仕様	対物レンズ-測定スポット径-観察視野：20倍レンズ、φ20um、φ400um 他レンズの場合、お問合せください。サンンプルサイズ：最大 200 x200 x17 mm （自動X-Yステージの場合）オートフォーカス：標準搭載多層膜解析：最大５０層膜厚精度：100nm未満の場合0.1nm、100nm以上の場合0.07%　（Si基板上SiO2膜）測定ソフトウエア：マニュアル現IJiE，I連続測iE，Iマッピンク測定/マクロ測定ジ測定同時演算機能解析ソフトウエア：最小二乗法、最適化法、周期解析(FFT)、ピークパレイ法(PV)、基板解析　　　　　　　　　　　裏面反射補正、各種光学定数(nk)解析モデル式、グラフ表示(等高線/3D) 絶対反射率/解析結果フィッテインク/光学定数(nk)の波長依存性

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