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株式会社北浜製作所

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顕微分光膜厚装置 製品一覧

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  • 顕微分光膜厚計(OPTM series)

    大塚電子株式会社

    豊富な膜厚膜質解析の経験ノウハウで、OPTM seriesが提供できる膜厚解析。光干渉法、顕微分光方式の膜厚値、高速フォーカス機能で1点1秒の測定が可能です。

    ・測定径最小φ3umサイズでの顕微測光。狙った部位、パターン内の微小測定がおこなえます。
    ・高性能・高再現性を実現したレンズ・光学系を採用。高精度な絶対反射率測定から解析できる膜厚計です。
    ・3種類の測定波長範囲から選択できる検出器。極薄膜、色付き試料等の用途に最適な機種選択ができます。
    ・1ポイント1秒以内の高速膜厚測定を可能にしたオートフォーカス機能を標準装備しています。
    ・独自の光学系で裏面反射を除去。透明基板を高精度測定することが可能です。
    ・多層膜等の多様な膜種対応の解析法。しかも、測定・解析も楽々操作の対話形式でおこなえます。
    ・機種により異なりますが、1nm ~ 92μmの膜厚測定がおこなえます。
    ・対物レンズの選択によりφ5μm ~φ100μmのスポットで測定可能です。
    ・目的用途により、ストローク長200x250mmの自動XYステージタイプ、固定フレームタイプの選択が可能です。

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