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- マスフローコントローラと制御ユニットを一体にした卓上型ガスユニットです。
●AC100V 電源に接続とガス配管接続で、すぐにご使用が可能です。
●多彩なMFC の搭載が可能
●操作性を考慮した卓上デザイン
| カテゴリ | |
|---|---|
| 用途 | 半導体 太陽電池 燃料電池 LED 液晶パネル 触媒 光ファイバー コーティング |
スペック
| メーカ | 株式会社堀場エステック |
|---|---|
| 重量 | 仕様による |
| 寸法 | 95(W)×177(D)×150±1(H) 詳細寸法については別途お問合せ |
| 製品仕様 | ■搭載MFC SEC-Eシリーズ SEC-N100シリーズ SEC-Z500シリーズ ■SET/OUT 表示 ■アラーム出力 |
