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株式会社北浜製作所

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光干渉式膜厚計 製品一覧

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  • 膜厚モニター(FE-300)

    大塚電子株式会社

    小型・低価格・簡単操作の膜厚測定装置。光干渉法による解析、オールインワンタイプ、ミリサイズの測定スポット径で、非接触・非破壊測定が可能です。

    ・最大φ200mm試料の架設可能したサンプルステージを標準装備しました。
    ・裏面反射除去の光学系を採用したフィルム試料測定専用機を品揃えしています。
    ・1ポイント0.1秒からの膜厚測定。固定焦点のメリットで高速化を実現しました。
    ・薄膜・厚膜の試料に合わせて5機種10nm-1.5mmの膜厚範囲(nd)で対応
    ・多層膜等多様な膜種対応した解析法を内蔵しています。
    ・膜厚測定範囲(nd)は、10nm ~ 1.5mmの薄膜から厚膜をカバーしています。
    ・測定スポット径φ3mm(フィルム測定モードの場合: φ1μmスポット)での膜厚値が得られます。
    ・波長範囲:300 ~ 1600nm内で5種類から最適な機種が選べます。

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